隨之微電子、光電子、激光技術(shù)的飛快發(fā)展，工業(yè)上對材質(zhì)表面的加工要求越來越高，越來越精密。那么只有不斷在研發(fā)的道路上前進(jìn)，才能緊緊跟住社會的腳步，但要求的是，研發(fā)的技術(shù)要能在其中起到必然的作用。
 研磨在其中起到的作用是絕對的也是相對的，它在精密、超精密加工中的技術(shù)，在很多材料上都比較合適。而且在加工精度上差不多能夠達(dá)到加工精度的極限，而且在操作上相對于其他機(jī)械而言比較簡單。
 超精密研磨加工技術(shù)，以不改變工件材料的物理特性為前提，是為了獲得更好的表面完整性、工件精度與平面度。研磨通常作為拋光加工的前道工序，是為了提高工件的表面精度并在一定程度上降低表面粗糙度，拋光是進(jìn)一步完善工件的表面精度。
 研磨是利用磨具通過磨料作用于工件表面，進(jìn)行微量加工的過程。研磨工件表面的尺寸精度、形位精度、研磨工具的壽命及研磨效率等，在很大程度上取決于研磨運(yùn)動。為使工件表面研磨均勻，從運(yùn)動學(xué)角度歸納出如下的平面研磨最佳運(yùn)動學(xué)條件：一·工件相對研具作平面運(yùn)動，應(yīng)保證工件被研磨表面上各點(diǎn)相對研具均有相同或相近的研磨軌跡；二·研磨運(yùn)動是由工件與研具之間的相對運(yùn)動實現(xiàn)的，工件表面上各點(diǎn)的研磨運(yùn)動速度應(yīng)盡可能相同；三·研磨運(yùn)動方向應(yīng)不斷變化，研磨紋路交錯多變，以利于工件加工表面粗糙度的降低，但應(yīng)盡量避免工件被研磨表面上各點(diǎn)相對研具的研磨軌跡曲率變化過大；四·研具或拋光盤工作表面的形狀精度會反映到工件表面上，所以工件的運(yùn)動軌跡應(yīng)遍及整個研具表面并且分布均勻，以利于研具的均勻磨損；五·工件相對研具在被研磨材料的去除方向上具有運(yùn)動自由度，這樣可以避免因研磨機(jī)械的導(dǎo)向精度不高而引起誤差。
 研磨軌跡的均勻性的提高有利于工件平面度的改善，但均勻的研磨軌跡并不足以保證工件被加工表面均勻的材料去除，原因是，同一軌跡上的各點(diǎn)可能有不同的磨粒。

 結(jié)合現(xiàn)有平面研磨機(jī)，根據(jù)研磨最佳運(yùn)動學(xué)條件，創(chuàng)造性的研制了新型行星輪式恒速率變向平面研磨機(jī)。利用研磨機(jī)，通過大量研磨實驗，探索出了研磨效率高、表面質(zhì)量好的研磨方案，取得了很好的研磨效果。

在平面研磨機(jī)新的研發(fā)的道路上:http://www.sugartea.cn/zhnews/201609199.html