主要用途:
該雙面研磨機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面高精度研磨、拋光。
工作原理:
2.本系列研磨機為超高精密研磨設備,上、下研磨盤作相反方向轉動,工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產效率高。
2.本系列研磨機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動,金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行平面修整。
特 點
1. 本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。
2. 采用四個電機同步拖動,變速范圍更廣,運動精度更高,響應速度更快,能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求,實現(xiàn)了軟啟動、軟停止,調速穩(wěn)定,沖擊小。
3. 修面機采用伺服馬達驅動,能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩(wěn),得到的平面修整效果非好。
4. 控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等先進技術,系統(tǒng)的響應速度更快、更精確,并具有遠程監(jiān)控,遠程維護功能;
5. 本系列研磨機有光柵厚度控制系統(tǒng),加工后的產品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內。
技術參數(shù):
型 號 |
FD--9B |
研磨盤規(guī)格: |
φ635×φ240×12t |
最大加工工件尺寸 |
φ200mm |
工件平面度(25mm) |
±0.2u以內 |
工件平行度(25mm) |
±0.4u以內 |
工件粗糙度(石英材料) |
0.4nm以內 |
研磨盤修面后平行度 |
±2u以內 |
游輪規(guī)格 |
φ230mm |
游輪數(shù)量 |
5 枚 |
下研磨盤轉速 |
0~140rpm |
下研磨盤電機功率 |
2.2kw 3相380V |
上研磨盤研磨轉速 |
0~60rpm |
上研磨盤電機功率 |
1.5kw 3相380V |
上研磨盤修面轉速 |
0~140rpm |
上研磨盤修面電機功率 |
0.75kw 3相380V |
太陽輪轉速 |
0~60rpm |
太陽輪電機功率 |
0.75kw 3相380V |
外齒輪轉速 |
0~30rpm |
外齒輪電機功率 |
0.75kw 3相380V |
修面機速度 |
200mm/分鐘 |
修面機伺服馬達功率 |
750w |
外形尺寸: |
1200×1650×2400mm |
重量: |
2300kg |
相關資訊
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