主要用途：

本減薄設(shè)備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤，吸盤主軸及驅(qū)動器組件，砂輪，砂輪主軸及驅(qū)動組件，絲桿導(dǎo)軌進給組件及其他輔助配件構(gòu)成.。
吸盤：
吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤，吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制，直徑320-600mm。
吸盤主軸驅(qū)動方式為變頻調(diào)速，逆時針旋轉(zhuǎn)，吸盤主軸轉(zhuǎn)速3-140轉(zhuǎn)可調(diào)，吸盤轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式相應(yīng)改變。
砂輪
砂輪的大小是根據(jù)吸盤直徑大小來定的，一般有150-170-210-300mm的規(guī)格，砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。
砂輪主軸及驅(qū)動組件
砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸，驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
絲桿進給組件
本機采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是砂輪的進刀速度，速度0.001-5mm/min可調(diào)，控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。
本機采用先進的臺灣品牌PLC和觸摸屏，自動化程度高，實現(xiàn)人機對話，操作簡單一目了然。

功能參數(shù)：